ແມ່ນຫຍັງຄາບອນ tetrafluoride? ການນໍາໃຊ້ແມ່ນຫຍັງ?
ຄາບອນ tetrafluoride, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ tetrafluoromethane, ຖືກຖືວ່າເປັນສານປະກອບອະນົງຄະທາດ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ etching plasma ຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານຕ່າງໆ, ແລະຍັງຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອາຍແກັສ laser ແລະ refrigerant. ມັນຂ້ອນຂ້າງຄົງທີ່ພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນປົກກະຕິ, ແຕ່ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການສໍາຜັດກັບ oxidants ທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ວັດຖຸໄວໄຟຫຼືໄຟໄຫມ້. ຄາບອນ tetrafluoride ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ຕິດໄຟ. ຖ້າມັນພົບກັບຄວາມຮ້ອນສູງ, ມັນຈະເຮັດໃຫ້ຄວາມກົດດັນພາຍໃນຂອງຖັງເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກແລະລະເບີດ. ປົກກະຕິແລ້ວມັນສາມາດພົວພັນກັບທາດອາໂມເນຍຂອງແຫຼວ - ທາດໂຊດຽມໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງເທົ່ານັ້ນ.
ຄາບອນ tetrafluorideປະຈຸບັນແມ່ນອາຍແກັສ plasma etching ທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ microelectronics. ມັນສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການ etching ຂອງຊິລິໂຄນ, ຊິລິໂຄນ dioxide, ແກ້ວ phosphosilicate ແລະວັດສະດຸຮູບເງົາບາງໆອື່ນໆ, ເຮັດຄວາມສະອາດຫນ້າດິນຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ, ການຜະລິດເຊນແສງຕາເວັນ, ເຕັກໂນໂລຊີ laser, insulation ອາຍແກັສ, ຕູ້ເຢັນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ຕົວແທນກວດພົບການຮົ່ວໄຫລ, ແລະສານຊັກຟອກໃນການຜະລິດວົງຈອນພິມມີຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຈໍານວນຫລາຍ.
ເວລາປະກາດ: ວັນທີ 01-01-2021
