ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ | 99.999% |
ອົກຊີ + ອາກອນ | ≤1ppm |
ໄນໂຕຣເຈນ | ≤4 ppm |
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ(H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbynes | ≤1 ppm |
ຄວາມບໍ່ສະອາດທັງໝົດ | ≤10 ppm |
ຄາບອນ tetrafluoride ແມ່ນ hydrocarbon halogenated ກັບສູດເຄມີ CF4.ມັນສາມາດຖືວ່າເປັນທາດປະສົມໄຮໂດຼລິກ, methane halogenated, perfluorocarbon, ຫຼືເປັນສານປະກອບອະນົງຄະທາດ.ຄາບອນ tetrafluoride ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີແລະບໍ່ມີກິ່ນ, ບໍ່ລະລາຍໃນນ້ໍາ, ລະລາຍໃນ benzene ແລະ chloroform.ຄວາມຫມັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມແລະຄວາມກົດດັນປົກກະຕິ, ຫຼີກເວັ້ນການຜຸພັງທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ວັດຖຸໄວໄຟຫຼືໄຟໄຫມ້.ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ເຜົາໃຫມ້, ຄວາມກົດດັນພາຍໃນຂອງຖັງຈະເພີ່ມຂຶ້ນເມື່ອຖືກຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກແລະການລະເບີດ.ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີແລະບໍ່ຕິດໄຟ.ມີພຽງແຕ່ສານອາໂມເນຍ-ໂຊດຽມຂອງແຫຼວທີ່ສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ.ຄາບອນ tetrafluoride ແມ່ນອາຍແກັສທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຜົນກະທົບເຮືອນແກ້ວ.ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ, ສາມາດຢູ່ໃນບັນຍາກາດເປັນເວລາດົນນານ, ແລະເປັນອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວທີ່ມີພະລັງຫຼາຍ.ຄາບອນ tetrafluoride ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ etching plasma ຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານຕ່າງໆ.ມັນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອາຍແກັສເລເຊີ, ແລະຖືກນໍາໃຊ້ໃນເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ຕົວລະລາຍ, ນ້ໍາມັນຫລໍ່ລື່ນ, ວັດສະດຸ insulating, ແລະ coolants ສໍາລັບເຄື່ອງກວດຈັບ infrared.ມັນເປັນອາຍແກັສ etching plasma ທີ່ໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ microelectronics.ມັນແມ່ນປະສົມຂອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ tetrafluoromethane ແລະອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ tetrafluoromethane ແລະອົກຊີທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.ມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ silicon, silicon dioxide, silicon nitride, ແລະແກ້ວ phosphosilicate.ການປັກແສ່ວຂອງວັດສະດຸຟິມບາງໆເຊັ່ນ tungsten ແລະ tungsten ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ, ການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນ, ເຕັກໂນໂລຊີ laser, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ, ການກວດກາການຮົ່ວໄຫລ, ແລະຝຸ່ນໃນການຜະລິດວົງຈອນພິມ.ໃຊ້ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ໍາແລະເຕັກໂນໂລຊີ etching ແຫ້ງ plasma ສໍາລັບວົງຈອນປະສົມປະສານ.ຂໍ້ຄວນລະວັງໃນການເກັບຮັກສາ: ເກັບຮັກສາໄວ້ໃນສາງແກັສທີ່ເຢັນ, ລະບາຍອາກາດບໍ່ຕິດໄຟ.ຮັກສາຫ່າງຈາກແຫຼ່ງໄຟ ແລະຄວາມຮ້ອນ.ອຸນຫະພູມການເກັບຮັກສາບໍ່ຄວນເກີນ 30 ° C.ມັນຄວນຈະຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ແຍກຕ່າງຫາກຈາກການເຜົາໃຫມ້ (ທີ່ເຜົາໃຫມ້) ແລະ oxidants, ແລະຫຼີກເວັ້ນການເກັບຮັກສາປະສົມ.ພື້ນທີ່ເກັບຮັກສາຄວນໄດ້ຮັບການຕິດຕັ້ງດ້ວຍອຸປະກອນການປິ່ນປົວສຸກເສີນທີ່ຮົ່ວໄຫຼ.
① ຕູ້ເຢັນ:
Tetrafluoromethane ບາງຄັ້ງໃຊ້ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.
② ການສະກັດ:
ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນ microfabrication ເອເລັກໂຕຣນິກຢ່າງດຽວຫຼືປະສົມປະສານກັບອົກຊີເຈນທີ່ເປັນ etchant plasma ສໍາລັບຊິລິໂຄນ, ຊິລິໂຄນ dioxide, ແລະ silicon nitride.
ຜະລິດຕະພັນ | ຄາບອນ TetrafluorideCF4 | ||
ຂະໜາດບັນຈຸ | ກະບອກສູບ 40 ລິດ | 50 ລິດກະບອກ | |
ການຕື່ມນ້ຳໜັກສຸດທິ / Cyl | 30Kgs | 38ກິໂລກຣາມ | |
QTY Loaded ໃນ 20'Container | 250 ຊີລີ | 250 ຊີລີ | |
ນ້ຳໜັກສຸດທິ | 7.5 ໂຕນ | 9.5 ໂຕນ | |
ນ້ຳໜັກກະບອກສູບ | 50Kgs | 55ກິໂລກຣາມ | |
ວາວ | CGA 580 |
①ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ສະຖານທີ່ຫລ້າສຸດ;
②ISO ຜູ້ຜະລິດໃບຢັ້ງຢືນ;
③ການຈັດສົ່ງໄວ;
④ ລະບົບການວິເຄາະອອນໄລນ໌ສໍາລັບການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບໃນທຸກຂັ້ນຕອນ;
⑤ຄວາມຕ້ອງການສູງແລະຂະບວນການພິເສດສໍາລັບການຈັດກະບອກກ່ອນທີ່ຈະຕື່ມຂໍ້ມູນໃສ່;