ອາຍແກັສສະກັດທີ່ນິຍົມໃຊ້ໃນການສະກັດແຫ້ງແມ່ນຫຍັງ?

ເຕັກໂນໂລຊີການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງແມ່ນໜຶ່ງໃນຂະບວນການທີ່ສຳຄັນ. ອາຍແກັສແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງແມ່ນວັດສະດຸທີ່ສຳຄັນໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສທີ່ສຳຄັນສຳລັບການແກະສະຫຼັກດ້ວຍພລາສມາ. ປະສິດທິພາບຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄຸນນະພາບ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. ບົດຄວາມນີ້ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແບ່ງປັນອາຍແກັສແກະສະຫຼັກທີ່ນິຍົມໃຊ້ໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງ.

ອາຍແກັສທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນສ່ວນປະກອບຫຼັກ: ເຊັ່ນຄາບອນເຕຕຣາຟລູອໍໄຣດ໌ (CF4), ເຮັກຊາຟລູໂອອີເທນ (C2F6), ໄຕຣຟລູໂອມີເທນ (CHF3) ແລະ ເປີຟລູໂອໂພຣເພນ (C3F8). ອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຜະລິດຟລູໂອໄຣທີ່ລະເຫີຍໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບເມື່ອກັດຊິລິກອນ ແລະ ທາດປະສົມຊິລິກອນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງບັນລຸການກຳຈັດວັດສະດຸ.

ອາຍແກັສທີ່ມີສ່ວນປະກອບຂອງຄລໍຣີນ: ເຊັ່ນ: ຄລໍຣີນ (Cl2),ໂບຣອນໄຕຄລໍໄຣດ໌ (BCl3)ແລະ ຊິລິກອນເຕຕຣາຄລໍໄຣດ໌ (SiCl4). ອາຍແກັສທີ່ມີຄລໍຣີນເປັນສ່ວນປະກອບສາມາດສະໜອງໄອອອນຄລໍໄຣດ໌ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການກັດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງອັດຕາການກັດ ແລະ ການເລືອກເຟັ້ນ.

ອາຍແກັສທີ່ມີໂບຣມີນເປັນພື້ນຖານ: ເຊັ່ນ: ໂບຣມີນ (Br2) ແລະ ໂບຣມີນໄອໂອໄດດ໌ (IBr). ອາຍແກັສທີ່ມີໂບຣມີນເປັນພື້ນຖານສາມາດໃຫ້ປະສິດທິພາບການແກະສະຫຼັກທີ່ດີກວ່າໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກບາງຢ່າງ, ໂດຍສະເພາະເມື່ອແກະສະຫຼັກວັດສະດຸແຂງເຊັ່ນ: ຊິລິກອນຄາໄບ.

ອາຍແກັສທີ່ມີໄນໂຕຣເຈນ ແລະ ອາຍແກັສທີ່ມີອົກຊີເຈນເປັນສ່ວນປະກອບຫຼັກ: ເຊັ່ນ: ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ (NF3) ແລະ ອົກຊີເຈນ (O2). ອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້ມັກຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປັບສະພາບປະຕິກິລິຍາໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກເພື່ອປັບປຸງການເລືອກເຟັ້ນ ແລະ ທິດທາງຂອງການແກະສະຫຼັກ.

ອາຍແກັສເຫຼົ່ານີ້ບັນລຸການແກະສະຫຼັກພື້ນຜິວວັດສະດຸໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນໂດຍຜ່ານການປະສົມປະສານຂອງການສະເປຣດທາງກາຍະພາບ ແລະ ປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນລະຫວ່າງການແກະສະຫຼັກດ້ວຍພລາສມາ. ການເລືອກອາຍແກັສແກະສະຫຼັກແມ່ນຂຶ້ນກັບປະເພດຂອງວັດສະດຸທີ່ຈະແກະສະຫຼັກ, ຄວາມຕ້ອງການດ້ານການເລືອກເຟັ້ນຂອງການແກະສະຫຼັກ, ແລະ ອັດຕາການແກະສະຫຼັກທີ່ຕ້ອງການ.