ສໍາຄັນອາຍແກັສພິເສດແມ່ນສາຂາທີ່ສໍາຄັນຂອງອາຍແກັສພິເສດ. ພວກເຂົາໄດ້ເຈາະເກືອບທຸກໆການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງ semiconductor ແລະມີວັດຖຸດິບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການຜະລິດວົງຈອນເອເລັກໂຕຣນິກເຊັ່ນ: ອຸປະກອນວາງສະແດງກະດານແປ, ແລະຈຸລັງແສງຕາເວັນ.

ໃນເຕັກໂນໂລຊີ semiconductor, ທາດອາຍຜິດທີ່ມີທາດແຫຼວທີ່ມີທາດແຫຼວທີ່ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ປະຈຸບັນ, ໃນຕະຫລາດອາຍແກັສອາຍແກັສອີເລັກໂທຣນິກທົ່ວໂລກ, ບັນຈຸທາດອາຍພິດອີເລັກໂທຣນິກ fluorine, ປະມານ 30% ຂອງຈໍານວນທັງຫມົດ. ທາດອາຍພິດທີ່ມີທາດແປ້ງທີ່ມີທາດແປ້ງແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນຂອງທາດອາຍເອເລັກໂຕຣນິກພິເສດໃນຂະແຫນງການຂໍ້ມູນຂ່າວສານເອເລັກໂຕຣນິກ. ພວກມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປັນຕົວແທນທີ່ເຮັດຄວາມສະອາດແລະຕົວແທນ etching, ແລະຍັງສາມາດໃຊ້ເປັນ dopants, ອຸປະກອນການສ້າງຮູບເງົາ, ແລະອື່ນໆ.

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນການນໍາໃຊ້ທາດອາຍຜິດທີ່ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ

Nitrogen Trifluoride (NF3): ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ໃນການເຮັດຄວາມສະອາດແລະກໍາຈັດເງິນຝາກ, ປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ໃນການເຮັດຄວາມສະອາດຫ້ອງປະຕິກິລິຍາແລະດ້ານອຸປະກອນ.

Sulfur Hexafluoride (SF6)ຕົວແທນ fluornoinating ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການອຸດຕັນຂອງຜຸພັງແລະເປັນ ASSUS ASCESSION INSUST ສໍາລັບການຕື່ມໃສ່ສື່ມວນຊົນ.

ທາດແຫຼວໄຮໂດຼລິກ (HF): ໃຊ້ເພື່ອເອົາຜຸພັງອອກຈາກຫນ້າດິນຊິລິໂຄນແລະເປັນ etchant ສໍາລັບຊິລິໂຄນແລະວັດສະດຸອື່ນໆ.

ທາດແຫຼວໄນໂຕຣເຈນ (NF): ໃຊ້ກັບເອກະສານ etch ເຊັ່ນຊິລິກ nitride (ບາບ) ແລະ aluminum nitride (aln).

trifluoromethane (CHF3) ແລະTetrafluoromethane (CF4): ໃຊ້ກັບວັດສະດຸ fluoride ຢ່າງນ້ອຍເຊັ່ນ: fluority ຊິລິໂຄນແລະ fluorio ທາດອາລູມີນຽມ.

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ທາດອາຍພິດທີ່ມີທາດແປ້ງມີຄວາມອັນຕະລາຍແນ່ນອນ, ລວມທັງຄວາມເປັນພິດ, ຄວາມເສື່ອມສະພາບ, ແລະຄວາມໄວສູງ.

ຄວາມເປັນພິດ

ທາດອາຍພິດທີ່ມີທາດ fluorine ແມ່ນເປັນສານພິດ, ເຊັ່ນ: ທາດແຫຼວໄຮໂດຼລິກ (hf), ເຊິ່ງເປັນອາຍກັບຜິວຫນັງແລະລະບົບຫາຍໃຈແລະເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ສຸຂະພາບຂອງມະນຸດ.

ການສໍ້ໂກງ

fluoride hydrogen ແລະບາງ fluorides ແມ່ນມີຄວາມເສື່ອມຊາມສູງແລະສາມາດສ້າງຄວາມເສຍຫາຍຮ້າຍແຮງຕໍ່ຜິວ, ຕາແລະລະບົບຫາຍໃຈ.

ອັດຕະກະສິດ

ບາງ fluorides ແມ່ນໄວໄຟແລະປະຕິກິລິຍາກັບອົກຊີເຈນຫຼືນ້ໍາໃນອາກາດເພື່ອປ່ອຍອາຍແກັສທີ່ຮ້ອນແລະເປັນພິດເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດໄຟໄຫມ້ຫຼືລະເບີດ.

ອັນຕະລາຍສູງ

ບາງທາດທີ່ມີທາດແປ້ງແມ່ນລະເບີດພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນສູງແລະຕ້ອງການການດູແລພິເສດເມື່ອໃຊ້ແລະເກັບມ້ຽນ.

ຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ

ທາດອາຍພິດທີ່ມີທາດ fluorine ມີຄຸນຄ່າຂອງບັນຍາກາດແລະ GWP, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບທີ່ເປັນການທໍາລາຍໃສ່ຊັ້ນໂອໂຊນທີ່ສຸດແລະອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດແລະມົນລະພິດດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທາດອາຍຜິດໃນຂົງເຂດທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂື້ນເຊັ່ນ: ເອເລັກໂຕຣນິກຍັງສືບຕໍ່ເລິກເຊິ່ງເປັນຈໍານວນຫລວງຫລາຍຂອງທາດອາຍຜິດສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ. ອີງໃສ່ຈໍານວນການຜະລິດໃຫມ່ຂອງສ່ວນປະກອບອີເລັກໂທຣນິກທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: semiconductors ແລະມີຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາອາຍພິດເຮືອນເອເລັກໂຕຣນິກ, ເຄື່ອງປັບອາກາດເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສູງ.