ເອເລັກໂຕຣນິກທາດອາຍຜິດພິເສດແມ່ນສາຂາທີ່ສໍາຄັນຂອງທາດອາຍຜິດພິເສດ. ພວກເຂົາເຈົ້າເຈາະເຂົ້າໄປໃນເກືອບທຸກເຊື່ອມຕໍ່ຂອງການຜະລິດ semiconductor ແລະເປັນວັດຖຸດິບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກເຊັ່ນ: ວົງຈອນປະສົມປະສານຂະຫນາດໃຫຍ່ທີ່ສຸດ, ອຸປະກອນສະແດງກະດານຮາບພຽງ, ແລະຈຸລັງແສງຕາເວັນ.

ໃນເທກໂນໂລຍີ semiconductor, ທາດອາຍຜິດທີ່ມີ fluorine ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ໃນປັດຈຸບັນ, ໃນຕະຫຼາດອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກທົ່ວໂລກ, ອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີ fluorine ກວມເອົາປະມານ 30% ຂອງຈໍານວນທັງຫມົດ. ອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີ fluorine ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຂອງອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກພິເສດໃນອຸປະກອນຂໍ້ມູນຂ່າວສານເອເລັກໂຕຣນິກ. ພວກມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປັນຕົວເຮັດຄວາມສະອາດແລະສານສະກັດ, ແລະຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນ dopants, ວັດສະດຸສ້າງຮູບເງົາ, ແລະອື່ນໆ. ໃນບົດຄວາມນີ້, ຜູ້ຂຽນຈະນໍາທ່ານໄປເຂົ້າໃຈເຖິງທາດອາຍຜິດທີ່ມີ fluorine ທົ່ວໄປ.

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນໃຊ້ທົ່ວໄປ ທາດອາຍແກັສທີ່ມີ fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດແລະເອົາເງິນຝາກ, ປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດຫ້ອງຕິກິຣິຍາແລະພື້ນຜິວອຸປະກອນ.

ຊູນຟູຣິກ hexafluoride (SF6): ຕົວແທນ fluorinating ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການເງິນຝາກ oxide ແລະເປັນອາຍແກັສ insulating ສໍາລັບການຕື່ມສື່ມວນຊົນ insulating.

Hydrogen fluoride (HF): ໃຊ້ເພື່ອເອົາອອກຊິລິໂຄນອອກຈາກພື້ນຜິວຂອງຊິລິໂຄນແລະເປັນ etchant ສໍາລັບ etching silicon ແລະວັດສະດຸອື່ນໆ.

Nitrogen fluoride (NF): ໃຊ້ເພື່ອຂັດວັດສະດຸເຊັ່ນ silicon nitride (SiN) ແລະ aluminium nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) ແລະtetrafluoromethane (CF4): ໃຊ້ເພື່ອຂັດວັດສະດຸ fluoride ເຊັ່ນ silicon fluoride ແລະ aluminium fluoride.

ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ທາດອາຍຜິດທີ່ມີ fluorine ມີອັນຕະລາຍທີ່ແນ່ນອນ, ລວມທັງຄວາມເປັນພິດ, ການກັດກ່ອນ, ແລະການຕິດໄຟ.

ຄວາມເປັນພິດ

ອາຍແກັສທີ່ມີ fluorine ບາງຊະນິດແມ່ນເປັນພິດ, ເຊັ່ນ: ໄຮໂດຣເຈນ ຟໍໂອໄລ (HF), ອາຍແກັສທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການລະຄາຍເຄືອງຕໍ່ຜິວໜັງ ແລະລະບົບຫາຍໃຈ ແລະເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ສຸຂະພາບຂອງມະນຸດ.

ການກັດກ່ອນ

Hydrogen fluoride ແລະ fluorides ບາງແມ່ນ corrosive ສູງແລະສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍຮ້າຍແຮງຕໍ່ຜິວຫນັງ, ຕາແລະລະບົບຫາຍໃຈ.

ການຕິດໄຟ

ບາງ fluorides ແມ່ນໄວໄຟແລະປະຕິກິລິຍາກັບອົກຊີເຈນຫຼືນ້ໍາໃນອາກາດທີ່ຈະປ່ອຍຄວາມຮ້ອນແລະອາຍແກັສພິດ, ເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດໄຟໄຫມ້ຫຼືລະເບີດ.

ອັນຕະລາຍຈາກຄວາມກົດດັນສູງ

ອາຍແກັສ fluorinated ບາງຊະນິດແມ່ນລະເບີດພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນສູງແລະຕ້ອງການການດູແລພິເສດໃນເວລາທີ່ນໍາໃຊ້ແລະເກັບຮັກສາໄວ້.

ຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ

ທາດອາຍແກັສທີ່ບັນຈຸ fluorine ມີອາຍຸສູງສຸດໃນບັນຍາກາດແລະຄ່າ GWP, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ຊັ້ນໂອໂຊນຂອງບັນຍາກາດແລະອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດໂລກຮ້ອນແລະມົນລະພິດສິ່ງແວດລ້ອມ.

ການ​ນຳ​ໃຊ້​ອາຍ​ແກັສ​ໃນ​ຂົງ​ເຂດ​ທີ່​ພົ້ນ​ເດັ່ນ​ເຊັ່ນ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​ສືບ​ຕໍ່​ເລິກ​ເຊິ່ງ, ​ເຮັດ​ໃຫ້​ຄວາມ​ຕ້ອງການ​ໃໝ່​ຂອງ​ແກັສອຸດສາຫະກຳ​ເປັນ​ຈຳນວນ​ຫຼວງ​ຫຼາຍ. ອີງ​ຕາມ​ຄວາມ​ສາມາດ​ຜະລິດ​ໃໝ່​ອັນ​ໃຫຍ່​ຫຼວງ​ຂອງ​ເຄື່ອງ​ປະກອບ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຼນິກ​ທີ່​ສຳຄັນ​ເຊັ່ນ​ເຊ​ມິ​ຄອນ​ດັອດ​ເຕີ ​ແລະ​ແຜງ​ສະ​ແດງ​ໃນ​ຈີນ​ແຜ່ນດິນ​ໃຫຍ່​ໃນ​ບໍ່​ເທົ່າ​ໃດ​ປີ​ຂ້າງ​ໜ້າ, ​ແລະ​ຄວາມ​ຕ້ອງການ​ທີ່​ແຂງ​ແຮງ​ໃນ​ການ​ທົດ​ແທນ​ການ​ນຳ​ເຂົ້າ​ວັດຖຸ​ເຄມີ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣນິກ, ອຸດສາຫະກຳ​ອາຍ​ແກັສ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຼນິກພາຍ​ໃນ​ປະ​ເທດ​ຈະ​ມີ​ຄວາມ​ຕ້ອງການ. ອັດຕາການຂະຫຍາຍຕົວສູງ.