ການນໍາໃຊ້ tungsten hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (WF6) ຖືກຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນຂອງ wafer ຜ່ານຂະບວນການ CVD, ຕື່ມຂໍ້ມູນໃສ່ຂຸມເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ, ແລະປະກອບເປັນໂລຫະເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງຊັ້ນ.

ທໍາອິດໃຫ້ເວົ້າກ່ຽວກັບ plasma.Plasma ແມ່ນຮູບແບບຂອງວັດຖຸສ່ວນໃຫຍ່ປະກອບດ້ວຍເອເລັກໂຕຣນິກຟຣີແລະ ions ຄິດຄ່າ.ມັນ​ມີ​ຢູ່​ຢ່າງ​ກວ້າງ​ຂວາງ​ໃນ​ຈັກ​ກະ​ວານ​ແລະ​ມັກ​ຈະ​ຖື​ວ່າ​ເປັນ​ສະ​ພາບ​ທີ​ສີ່​.ມັນຖືກເອີ້ນວ່າລັດ plasma, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າ "plasma".Plasma ມີການນໍາໄຟຟ້າສູງແລະມີຜົນກະທົບທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງ coupling ກັບພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ.ມັນ​ເປັນ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ ionized ເປັນ​ບາງ​ສ່ວນ​, ປະ​ກອບ​ດ້ວຍ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​, ion​, ຮາກ​ຟຣີ​, particles ເປັນ​ກາງ​, ແລະ photons​.plasma ຕົວຂອງມັນເອງແມ່ນປະສົມທີ່ເປັນກາງທາງໄຟຟ້າທີ່ມີອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທາງກາຍະພາບແລະທາງເຄມີ.

ຄໍາອະທິບາຍກົງໄປກົງມາແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພະລັງງານສູງ, ໂມເລກຸນຈະເອົາຊະນະແຮງ van der Waals, ແຮງຜູກມັດທາງເຄມີແລະຜົນບັງຄັບໃຊ້ Coulomb, ແລະນໍາສະເຫນີຮູບແບບຂອງໄຟຟ້າທີ່ເປັນກາງທັງຫມົດ.ໃນເວລາດຽວກັນ, ພະລັງງານສູງ imparted ໂດຍພາຍນອກ overcomes ສາມກໍາລັງຂ້າງເທິງ.ຟັງຊັນ, ເອເລັກໂຕຣນິກແລະ ions ນໍາສະເຫນີລັດຟຣີ, ທີ່ສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ປອມພາຍໃຕ້ modulation ຂອງພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ, ເຊັ່ນຂະບວນການ etching semiconductor, ຂະບວນການ CVD, PVD ແລະຂະບວນການ IMP.

ພະລັງງານສູງແມ່ນຫຍັງ?ໃນທາງທິດສະດີ, ທັງສອງອຸນຫະພູມສູງແລະ RF ຄວາມຖີ່ສູງສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້.ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ອຸນຫະພູມສູງແມ່ນເກືອບເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸ.ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມນີ້ສູງເກີນໄປ ແລະອາດຈະຢູ່ໃກ້ກັບອຸນຫະພູມຂອງດວງອາທິດ.ມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວທີ່ຈະບັນລຸໃນຂະບວນການ.ດັ່ງນັ້ນ, ອຸດສາຫະກໍາມັກຈະໃຊ້ RF ຄວາມຖີ່ສູງເພື່ອບັນລຸມັນ.Plasma RF ສາມາດບັນລຸໄດ້ສູງສຸດ 13MHz+.

Tungsten hexafluoride ຖືກ plasmaized ພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ vapor-posited ໂດຍພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ.ປະລໍາມະນູ W ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຂົນ goose ລະດູຫນາວແລະຕົກລົງກັບດິນພາຍໃຕ້ການດໍາເນີນການຂອງແຮງໂນ້ມຖ່ວງ.ຄ່ອຍໆ​, ປະ​ລໍາ​ມະ​ນູ W ຖືກ​ຝາກ​ເຂົ້າ​ໄປ​ໃນ​ຂຸມ​ໂດຍ​ຜ່ານ​ການ​, ແລະ​ສຸດ​ທ້າຍ​ໄດ້​ເຕັມ​ໄປ​ດ້ວຍ​ຮູ​ເພື່ອ​ສ້າງ​ການ​ເຊື່ອມ​ຕໍ່​ກັນ​ຂອງ​ໂລ​ຫະ​.ນອກເຫນືອຈາກການຝາກປະລໍາມະນູ W ໃນຮູຜ່ານ, ພວກມັນຍັງຈະຖືກຝາກຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງ Wafer ບໍ?ແມ່ນແລ້ວ, ແນ່ນອນ.ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ທ່ານສາມາດນໍາໃຊ້ຂະບວນການ W-CMP, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເອີ້ນວ່າຂະບວນການຂັດກົນຈັກເພື່ອເອົາອອກ.ມັນຄ້າຍຄືກັບການໃຊ້ດອກແຂມເພື່ອກວາດພື້ນຫຼັງຈາກຫິມະຕົກໜັກ.ຫິມະ​ຢູ່​ເທິງ​ພື້ນ​ດິນ​ຖືກ​ພັດ​ໄປ, ແຕ່​ຫິມະ​ໃນ​ຂຸມ​ເທິງ​ພື້ນ​ດິນ​ຈະ​ຄົງ​ຢູ່.ລົງ, ປະມານຄືກັນ.


ເວລາປະກາດ: 24-12-2021

ສົ່ງຂໍ້ຄວາມຂອງເຈົ້າຫາພວກເຮົາ: