Tungsten hexafluoride (WF6) ຖືກຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນຂອງ wafer ຜ່ານຂະບວນການ CVD, ຕື່ມຂໍ້ມູນໃສ່ຂຸມເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ, ແລະປະກອບເປັນໂລຫະເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງຊັ້ນ.
ທໍາອິດໃຫ້ເວົ້າກ່ຽວກັບ plasma.Plasma ແມ່ນຮູບແບບຂອງສານສ່ວນໃຫຍ່ປະກອບດ້ວຍເອເລັກໂຕຣນິກຟຣີແລະ ions ຄິດຄ່າ.ມັນມີຢູ່ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຈັກກະວານແລະມັກຈະຖືວ່າເປັນສະພາບທີສີ່.ມັນຖືກເອີ້ນວ່າລັດ plasma, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າ "plasma".Plasma ມີການນໍາໄຟຟ້າສູງແລະມີຜົນກະທົບທີ່ແຂງແຮງຂອງ coupling ກັບພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ.ມັນເປັນອາຍແກັສ ionized ເປັນບາງສ່ວນ, ປະກອບດ້ວຍເອເລັກໂຕຣນິກ, ion, ຮາກຟຣີ, particles ເປັນກາງ, ແລະ photons.plasma ຕົວຂອງມັນເອງແມ່ນປະສົມທີ່ເປັນກາງທາງໄຟຟ້າທີ່ມີອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທາງກາຍະພາບແລະທາງເຄມີ.
ຄໍາອະທິບາຍກົງໄປກົງມາແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພະລັງງານສູງ, ໂມເລກຸນຈະເອົາຊະນະແຮງ van der Waals, ແຮງພັນທະບັດເຄມີແລະຜົນບັງຄັບໃຊ້ Coulomb, ແລະນໍາສະເຫນີຮູບແບບຂອງໄຟຟ້າທີ່ເປັນກາງທັງຫມົດ.ໃນເວລາດຽວກັນ, ພະລັງງານສູງ imparted ໂດຍພາຍນອກ overcomes ສາມກໍາລັງຂ້າງເທິງ.ຟັງຊັນ, ເອເລັກໂຕຣນິກແລະ ions ນໍາສະເຫນີລັດຟຣີ, ທີ່ສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ປອມພາຍໃຕ້ modulation ຂອງພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ, ເຊັ່ນຂະບວນການ etching semiconductor, ຂະບວນການ CVD, PVD ແລະຂະບວນການ IMP.
ພະລັງງານສູງແມ່ນຫຍັງ?ໃນທາງທິດສະດີ, ທັງສອງອຸນຫະພູມສູງແລະ RF ຄວາມຖີ່ສູງສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້.ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ອຸນຫະພູມສູງແມ່ນເກືອບເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸ.ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມນີ້ສູງເກີນໄປ ແລະອາດຈະຢູ່ໃກ້ກັບອຸນຫະພູມຂອງດວງອາທິດ.ມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວທີ່ຈະບັນລຸໃນຂະບວນການ.ດັ່ງນັ້ນ, ອຸດສາຫະກໍາປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ RF ຄວາມຖີ່ສູງເພື່ອບັນລຸມັນ.Plasma RF ສາມາດບັນລຸໄດ້ສູງສຸດ 13MHz+.
Tungsten hexafluoride ຖືກ plasmaized ພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ vapor-posited ໂດຍພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ.ປະລໍາມະນູ W ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຂົນ goose ລະດູຫນາວແລະຕົກລົງກັບດິນພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງແຮງໂນ້ມຖ່ວງ.ຊ້າໆ, ປະລໍາມະນູ W ຖືກຝາກເຂົ້າໄປໃນຮູຜ່ານ, ແລະສຸດທ້າຍໄດ້ເຕີມເຕັມໂດຍຜ່ານຮູເພື່ອສ້າງເປັນການເຊື່ອມຕໍ່ກັນຂອງໂລຫະ.ນອກເຫນືອຈາກການຝາກປະລໍາມະນູ W ຢູ່ໃນຮູຜ່ານ, ພວກມັນຍັງຈະຖືກຝາກໄວ້ໃນຫນ້າດິນຂອງ Wafer ບໍ?ແມ່ນແລ້ວ, ແນ່ນອນ.ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ທ່ານສາມາດນໍາໃຊ້ຂະບວນການ W-CMP, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເອີ້ນວ່າຂະບວນການຂັດກົນຈັກເພື່ອເອົາອອກ.ມັນຄ້າຍຄືກັບການໃຊ້ດອກແຂມເພື່ອກວາດພື້ນຫຼັງຈາກຫິມະຕົກໜັກ.ຫິມະຢູ່ເທິງພື້ນດິນຖືກພັດໄປ, ແຕ່ຫິມະໃນຂຸມເທິງພື້ນດິນຈະຄົງຢູ່.ລົງ, ປະມານຄືກັນ.
ເວລາປະກາດ: 24-12-2021
