Tungsten hexafluoride (WF6) ແມ່ນຝາກຢູ່ດ້ານຂອງ wafer ໂດຍຜ່ານຂະບວນການເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ, ແລະປະກອບເປັນໂລຫະລະຫວ່າງຊັ້ນ.
ໃຫ້ເວົ້າກ່ຽວກັບ plasma ກ່ອນ. Plasma ແມ່ນຮູບແບບຂອງເລື່ອງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ບໍ່ເສຍຄ່າແລະຄິດຄ່າທໍານຽມ. ມັນມີຢູ່ໃນຈັກກະວານຢ່າງກວ້າງຂວາງແລະມັກຈະຖືວ່າເປັນສະຖານະການທີສີ່ຂອງເລື່ອງ. ມັນຖືກເອີ້ນວ່າ State ຂອງ Plasma, ຍັງເອີ້ນວ່າ "Plasma". Plasma ມີການຜະລິດໄຟຟ້າສູງແລະມີຜົນກະທົບທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນກັບສະຫນາມໄຟຟ້າ. ມັນແມ່ນອາຍແກັສ ionized ionized ບາງສ່ວນ, ສ່ວນປະກອບຂອງ electrons, ions, ions, allyals ຟຣີ, ອະນຸພາກທີ່ເປັນກາງ, ແລະ photons. ແຜ່ນຂອງ plasma ເອງແມ່ນການປະສົມທີ່ເປັນທີ່ເປັນທີ່ເປັນທີ່ເປັນມິດທີ່ເປັນກາງທີ່ມີອະນຸພາກດ້ານຮ່າງກາຍແລະທາງເຄມີ.
ຄໍາອະທິບາຍທີ່ກົງໄປກົງມາແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການກະທໍາຂອງພະລັງງານສູງ, ໂມເລກຸນ Waals force, Force Bond Friendity ແລະ Coulomb Force, ແລະນໍາສະເຫນີຮູບແບບໄຟຟ້າທີ່ເປັນກາງ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ພະລັງງານສູງໄດ້ປະຕິບັດໂດຍທາງນອກເອົາຊະນະສາມກໍາລັງຂ້າງເທິງ. ການເຮັດວຽກ, ເອເລັກໂຕຣນິກແລະ ions ສະແດງສະພາບທີ່ບໍ່ເສຍຄ່າ, ເຊິ່ງສາມາດໃຊ້ໄດ້ຢ່າງແທ້ຈິງພາຍໃຕ້ການປັບປຸງບູຊາສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ, ເຊັ່ນລະດັບການ semiconductor EXTEONDUCTOR, ຂະບວນການ CVD, PVD ແລະ ISCT.
ພະລັງງານສູງແມ່ນຫຍັງ? ໃນທາງທິດສະດີ, ທັງສອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຖີ່ສູງ RF ສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວການເວົ້າ, ອຸນຫະພູມສູງເກືອບຈະເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸ. ຄວາມຮຽກຮ້ອງຕ້ອງການອຸນຫະພູມນີ້ແມ່ນສູງເກີນໄປແລະອາດຈະໃກ້ຊິດກັບອຸນຫະພູມຂອງແສງຕາເວັນ. ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸໃນຂະບວນການ. ສະນັ້ນ, ອຸດສາຫະກໍາປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນໃຊ້ຄວາມຖີ່ສູງ rf ເພື່ອບັນລຸມັນ. Plasma RF ສາມາດບັນລຸໄດ້ສູງເຖິງ 13mhz +.
Tungsten hexafluoride ແມ່ນ plasmazing ພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງສະຫນາມໄຟຟ້າ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເກັບເງິນທີ່ຝາກໂດຍສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ. W Atoms ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບ feathers goose ລະດູຫນາວແລະຕົກລົງສູ່ພື້ນດິນພາຍໃຕ້ການກະທໍາຂອງແຮງໂນ້ມຖ່ວງ. ຊ້າໆ, W Atoms ແມ່ນຖືກຝາກເຂົ້າໄປໃນຊ່ອງຫວ່າງ, ແລະສຸດທ້າຍເຕັມເຕັມໄປໂດຍຜ່ານຮູເພື່ອປະກອບເປັນເອກະສານເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ. ນອກເຫນືອໄປຈາກການຝາກປະຫວັດສາດ w ໃນໄລຍະຜ່ານຮູ, ພວກເຂົາກໍ່ຈະຖືກຝາກໃສ່ດ້ານຂອງ wafer ໄດ້ບໍ? ແມ່ນແລ້ວ, ແນ່ນອນ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວການເວົ້າ, ທ່ານສາມາດໃຊ້ຂະບວນການ W-CMP, ເຊິ່ງແມ່ນສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເອີ້ນວ່າຂັ້ນຕອນການປັ່ນປ່ວນກົນຈັກເພື່ອກໍາຈັດ. ມັນຄ້າຍຄືກັບການໃຊ້ດອກແຂມເພື່ອກວາດພື້ນເຮືອນຫຼັງຈາກຫິມະຕົກຫນັກ. ຫິມະຢູ່ເທິງພື້ນດິນແມ່ນຖືກກວາດລ້າງໄປ, ແຕ່ຫິມະຢູ່ໃນຂຸມໃນພື້ນທີ່ຈະຍັງຄົງຢູ່. ລົງ, ປະມານຄືກັນ.
ເວລາໄປສະນີ: Dec-24-2021
