ທັງສະເຕນ ເຮັກຊາຟລູອໍໄຣດ໌ (WF6) ຖືກວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີຜ່ານຂະບວນການ CVD, ຕື່ມຮ່ອງເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ, ແລະສ້າງການເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະລະຫວ່າງຊັ້ນຕ່າງໆ.
ກ່ອນອື່ນໝົດ, ລອງມາເວົ້າກ່ຽວກັບພລາສມາເບິ່ງ. ພລາສມາແມ່ນຮູບແບບໜຶ່ງຂອງສານທີ່ປະກອບດ້ວຍເອເລັກຕຣອນເສລີ ແລະ ໄອອອນທີ່ມີປະຈຸໄຟຟ້າ. ມັນມີຢູ່ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຈັກກະວານ ແລະ ມັກຖືກຖືວ່າເປັນສະຖານະທີສີ່ຂອງສານ. ມັນຖືກເອີ້ນວ່າສະຖານະພລາສມາ ຫຼື ເອີ້ນວ່າ "ພລາສມາ". ພລາສມາມີຄວາມນຳໄຟຟ້າສູງ ແລະ ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັບຄູ່ທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບສະໜາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ. ມັນເປັນອາຍແກັສທີ່ມີໄອອອນບາງສ່ວນ, ປະກອບດ້ວຍເອເລັກຕຣອນ, ໄອອອນ, ອະນຸມູນອິດສະຫຼະ, ອະນຸພາກທີ່ເປັນກາງ ແລະ ໂຟຕອນ. ພລາສມາເອງແມ່ນສ່ວນປະສົມທີ່ເປັນກາງທາງໄຟຟ້າທີ່ປະກອບດ້ວຍອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທາງກາຍະພາບ ແລະ ທາງເຄມີ.
ຄຳອະທິບາຍທີ່ຊັດເຈນແມ່ນວ່າ ພາຍໃຕ້ການກະທຳຂອງພະລັງງານສູງ, ໂມເລກຸນຈະເອົາຊະນະແຮງ van der Waals, ແຮງພັນທະເຄມີ ແລະ ແຮງ Coulomb, ແລະ ນຳສະເໜີຮູບແບບໄຟຟ້າທີ່ເປັນກາງໂດຍລວມ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ພະລັງງານສູງທີ່ສົ່ງມາຈາກພາຍນອກຈະເອົາຊະນະແຮງທັງສາມຂ້າງເທິງ. ໜ້າທີ່, ເອເລັກຕຣອນ ແລະ ໄອອອນ ນຳສະເໜີສະຖານະອິດສະຫຼະ, ເຊິ່ງສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້ໂດຍທຽມພາຍໃຕ້ການປັບປ່ຽນສະໜາມແມ່ເຫຼັກ, ເຊັ່ນ: ຂະບວນການແກະສະຫຼັກເຄິ່ງຕົວນຳ, ຂະບວນການ CVD, ຂະບວນການ PVD ແລະ IMP.
ພະລັງງານສູງແມ່ນຫຍັງ? ໃນທາງທິດສະດີ, ທັງ RF ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມຖີ່ສູງສາມາດໃຊ້ໄດ້. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ອຸນຫະພູມສູງເກືອບເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸໄດ້. ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມນີ້ສູງເກີນໄປ ແລະ ອາດຈະໃກ້ຄຽງກັບອຸນຫະພູມຂອງດວງອາທິດ. ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸໄດ້ໃນຂະບວນການ. ດັ່ງນັ້ນ, ອຸດສາຫະກຳມັກຈະໃຊ້ RF ຄວາມຖີ່ສູງເພື່ອບັນລຸມັນ. RF ພລາສມາສາມາດບັນລຸໄດ້ສູງເຖິງ 13MHz+.
ທັງສະເຕັນ ເຮັກຊາຟລູອໍໄຣດ໌ ຖືກປລາສມາພາຍໃຕ້ການກະທຳຂອງສະໜາມໄຟຟ້າ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ຖືກຝາກດ້ວຍໄອນ້ຳໂດຍສະໜາມແມ່ເຫຼັກ. ອະຕອມ W ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບຂົນຫ່ານລະດູໜາວ ແລະ ຕົກລົງສູ່ພື້ນດິນພາຍໃຕ້ການກະທຳຂອງແຮງໂນ້ມຖ່ວງ. ຊ້າໆ, ອະຕອມ W ຖືກຝາກເຂົ້າໄປໃນຮູຜ່ານ, ແລະ ສຸດທ້າຍກໍ່ເຕັມຮູຜ່ານເພື່ອສ້າງການເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ. ນອກເໜືອໄປຈາກການຝາກອະຕອມ W ໃນຮູຜ່ານ, ພວກມັນຍັງຈະຖືກຝາກຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີບໍ? ແມ່ນແລ້ວ, ແນ່ນອນ. ໂດຍທົ່ວໄປ, ທ່ານສາມາດໃຊ້ຂະບວນການ W-CMP, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເອີ້ນວ່າຂະບວນການບົດກົນຈັກເພື່ອກຳຈັດ. ມັນຄ້າຍຄືກັບການໃຊ້ໄມ້ກວາດເພື່ອກວາດພື້ນຫຼັງຈາກຫິມະຕົກໜັກ. ຫິມະຢູ່ເທິງພື້ນດິນຖືກກວາດອອກໄປ, ແຕ່ຫິມະໃນຮູເທິງພື້ນດິນຈະຍັງຄົງຢູ່. ລົງ, ປະມານຄືກັນ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 24 ທັນວາ 2021
