ການນໍາໃຊ້ tungsten hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (WF6) ຖືກຝາກໄວ້ເທິງຫນ້າດິນຂອງ wafer ຜ່ານຂະບວນການ CVD, ຕື່ມຂໍ້ມູນໃສ່ຂຸມເຊື່ອມຕໍ່ໂລຫະ, ແລະປະກອບເປັນໂລຫະເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງຊັ້ນ.

ທໍາອິດໃຫ້ເວົ້າກ່ຽວກັບ plasma. Plasma ແມ່ນຮູບແບບຂອງສານສ່ວນໃຫຍ່ປະກອບດ້ວຍເອເລັກໂຕຣນິກຟຣີແລະ ions ຄິດຄ່າ. ມັນ​ມີ​ຢູ່​ຢ່າງ​ກວ້າງ​ຂວາງ​ໃນ​ຈັກ​ກະ​ວານ​ແລະ​ມັກ​ຈະ​ຖື​ວ່າ​ເປັນ​ສະ​ພາບ​ທີ​ສີ່​. ມັນຖືກເອີ້ນວ່າລັດ plasma, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າ "plasma". Plasma ມີການນໍາໄຟຟ້າສູງແລະມີຜົນກະທົບທີ່ແຂງແຮງຂອງ coupling ກັບພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ. ມັນ​ເປັນ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ ionized ເປັນ​ບາງ​ສ່ວນ​, ປະ​ກອບ​ດ້ວຍ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​, ion​, ຮາກ​ຟຣີ​, particles ເປັນ​ກາງ​, ແລະ photons​. plasma ຕົວຂອງມັນເອງແມ່ນປະສົມທີ່ເປັນກາງທາງໄຟຟ້າທີ່ມີອະນຸພາກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທາງກາຍະພາບແລະທາງເຄມີ.

ຄໍາອະທິບາຍກົງໄປກົງມາແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພະລັງງານສູງ, ໂມເລກຸນຈະເອົາຊະນະແຮງ van der Waals, ແຮງພັນທະບັດເຄມີແລະຜົນບັງຄັບໃຊ້ Coulomb, ແລະນໍາສະເຫນີຮູບແບບຂອງໄຟຟ້າທີ່ເປັນກາງທັງຫມົດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ພະລັງງານສູງ imparted ໂດຍພາຍນອກ overcomes ສາມກໍາລັງຂ້າງເທິງ. ຟັງຊັນ, ເອເລັກໂຕຣນິກແລະ ions ນໍາສະເຫນີລັດຟຣີ, ທີ່ສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ປອມພາຍໃຕ້ modulation ຂອງພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ, ເຊັ່ນຂະບວນການ etching semiconductor, ຂະບວນການ CVD, PVD ແລະຂະບວນການ IMP.

ພະລັງງານສູງແມ່ນຫຍັງ? ໃນທາງທິດສະດີ, ທັງສອງອຸນຫະພູມສູງແລະ RF ຄວາມຖີ່ສູງສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ອຸນຫະພູມສູງແມ່ນເກືອບເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະບັນລຸ. ຄວາມຕ້ອງການອຸນຫະພູມນີ້ສູງເກີນໄປ ແລະອາດຈະຢູ່ໃກ້ກັບອຸນຫະພູມຂອງດວງອາທິດ. ມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວທີ່ຈະບັນລຸໃນຂະບວນການ. ດັ່ງນັ້ນ, ອຸດສາຫະກໍາປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ RF ຄວາມຖີ່ສູງເພື່ອບັນລຸມັນ. Plasma RF ສາມາດບັນລຸໄດ້ສູງສຸດ 13MHz+.

Tungsten hexafluoride ຖືກ plasmaized ພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນ vapor-posited ໂດຍພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ. ປະລໍາມະນູ W ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຂົນ goose ລະດູຫນາວແລະຕົກລົງກັບດິນພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງແຮງໂນ້ມຖ່ວງ. ຊ້າໆ, ປະລໍາມະນູ W ຖືກຝາກເຂົ້າໄປໃນຮູຜ່ານ, ແລະສຸດທ້າຍໄດ້ເຕີມເຕັມໂດຍຜ່ານຮູເພື່ອສ້າງເປັນການເຊື່ອມຕໍ່ກັນຂອງໂລຫະ. ນອກເຫນືອຈາກການຝາກປະລໍາມະນູ W ຢູ່ໃນຮູຜ່ານ, ພວກມັນຍັງຈະຖືກຝາກຢູ່ເທິງຫນ້າຂອງ Wafer ບໍ? ແມ່ນແລ້ວ, ແນ່ນອນ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ທ່ານສາມາດນໍາໃຊ້ຂະບວນການ W-CMP, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເອີ້ນວ່າຂະບວນການຂັດກົນຈັກເພື່ອເອົາອອກ. ມັນຄ້າຍຄືກັບການໃຊ້ດອກແຂມເພື່ອກວາດພື້ນຫຼັງຈາກຫິມະຕົກໜັກ. ຫິມະ​ຢູ່​ເທິງ​ພື້ນ​ດິນ​ຖືກ​ພັດ​ໄປ, ແຕ່​ຫິມະ​ໃນ​ຂຸມ​ເທິງ​ພື້ນ​ດິນ​ຈະ​ຄົງ​ຢູ່. ລົງ, ປະມານຄືກັນ.