ອາຍແກັສພິເສດເອເລັກໂຕຣນິກປະລິມານຫຼາຍທີ່ສຸດ - ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ NF3

ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອຸດສາຫະກຳແຜງຂອງປະເທດພວກເຮົາຮັກສາລະດັບຄວາມຈະເລີນຮຸ່ງເຮືອງໃນລະດັບສູງ. ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌, ໃນຖານະເປັນອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກພິເສດທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ ແລະ ມີປະລິມານຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ ແລະ ການປຸງແຕ່ງແຜງ ແລະ ເຄິ່ງຕົວນຳ, ມີພື້ນທີ່ຕະຫຼາດທີ່ກວ້າງຂວາງ.

ອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກພິເສດທີ່ມີຟລູອໍຣີນທີ່ນິຍົມໃຊ້ທົ່ວໄປປະກອບມີຊູນຟູຣິກ ເຮັກຊາຟລູອໍໄຣດ໌ (SF6), tungsten hexafluoride (WF6),ຄາບອນເຕຕຣາຟລູອໍໄຣດ໌ (CF4), ໄຕຣຟລູໂອໂຣມີເທນ (CHF3), ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູໂອໄຣດ໌ (NF3), ເຮັກຊາຟລູໂອໄຣອີເທນ (C2F6) ແລະ ອົກຕາຟລູໂອໄຣດ໌ໂປຣເພນ (C3F8). ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູໂອໄຣດ໌ (NF3) ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປັນແຫຼ່ງຟລູໂອຣີນສຳລັບເລເຊີເຄມີພະລັງງານສູງໄຮໂດເຈນຟລູໂອໄຣດ໌-ຟລູໂອໄຣດ໌. ສ່ວນທີ່ມີປະສິດທິພາບ (ປະມານ 25%) ຂອງພະລັງງານປະຕິກິລິຍາລະຫວ່າງ H2-O2 ແລະ F2 ສາມາດປ່ອຍອອກມາໄດ້ໂດຍລັງສີເລເຊີ, ສະນັ້ນເລເຊີ HF-OF ແມ່ນເລເຊີທີ່ມີຄວາມຫວັງທີ່ສຸດໃນບັນດາເລເຊີເຄມີ.

ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ ເປັນອາຍແກັສສະຫຼັກພລາສມາທີ່ດີເລີດໃນອຸດສາຫະກຳໄມໂຄຣເອເລັກໂຕຣນິກ. ສຳລັບການສະຫຼັກຊິລິກອນ ແລະ ຊິລິກອນໄນໄຕຣດ໌, ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ ມີອັດຕາການສະຫຼັກ ແລະ ການເລືອກເຟັ້ນສູງກວ່າຄາບອນເຕຕຣາຟລູອໍໄຣດ໌ ແລະ ສ່ວນປະສົມຂອງຄາບອນເຕຕຣາຟລູອໍໄຣດ໌ ແລະ ອົກຊີເຈນ, ແລະ ບໍ່ມີມົນລະພິດຕໍ່ພື້ນຜິວ. ໂດຍສະເພາະໃນການສະຫຼັກວັດສະດຸວົງຈອນລວມທີ່ມີຄວາມໜາໜ້ອຍກວ່າ 1.5um, ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ ມີອັດຕາການສະຫຼັກ ແລະ ການເລືອກເຟັ້ນທີ່ດີເລີດຫຼາຍ, ບໍ່ເຮັດໃຫ້ມີສານຕົກຄ້າງຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງວັດຖຸສະຫຼັກ, ແລະ ຍັງເປັນຕົວແທນທຳຄວາມສະອາດທີ່ດີຫຼາຍ. ດ້ວຍການພັດທະນາຂອງນາໂນເທັກໂນໂລຢີ ແລະ ການພັດທະນາຂະໜາດໃຫຍ່ຂອງອຸດສາຫະກຳເອເລັກໂຕຣນິກ, ຄວາມຕ້ອງການຂອງມັນຈະເພີ່ມຂຶ້ນທຸກໆມື້.

ໃນຖານະທີ່ເປັນອາຍແກັສພິເສດທີ່ມີຟລູອໍຣີນ, ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ (NF3) ເປັນຜະລິດຕະພັນອາຍແກັສພິເສດເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດໃນຕະຫຼາດ. ມັນບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ມີການເຄື່ອນໄຫວຫຼາຍກວ່າອົກຊີເຈນ, ໝັ້ນຄົງກວ່າຟລູອໍໄຣນ, ແລະງ່າຍຕໍ່ການຈັດການໃນອຸນຫະພູມສູງ.

ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປັນອາຍແກັສແກະສະຫຼັກພລາສມາ ແລະ ຕົວແທນເຮັດຄວາມສະອາດຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ, ເໝາະສຳລັບຂົງເຂດການຜະລິດເຊັ່ນ: ຊິບເຄິ່ງຕົວນຳ, ໜ້າຈໍແບນ, ເສັ້ນໄຍແສງ, ເຊວແສງອາທິດ, ແລະອື່ນໆ.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຟລູອໍຣີນອື່ນໆ, ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌ມີຂໍ້ດີຂອງປະຕິກິລິຍາໄວແລະປະສິດທິພາບສູງ, ໂດຍສະເພາະໃນການແກະສະຫຼັກວັດສະດຸທີ່ມີຊິລິກອນເຊັ່ນ: ຊິລິກອນໄນໄຕຣດ໌, ມັນມີອັດຕາການແກະສະຫຼັກແລະການເລືອກເຟັ້ນສູງ, ບໍ່ເຮັດໃຫ້ມີສານຕົກຄ້າງຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງວັດຖຸທີ່ຖືກແກະສະຫຼັກ, ແລະຍັງເປັນຕົວແທນເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ດີຫຼາຍ, ແລະມັນບໍ່ເປັນມົນລະພິດຕໍ່ໜ້າດິນແລະສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການປຸງແຕ່ງ.