ໃນຂະບວນການຜະລິດຂອງໂຮງຫລໍ່ແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຂະບວນການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າພໍສົມຄວນ, ຕ້ອງການອາຍແກັສເກືອບ 50 ຊະນິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ອາຍແກັສໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນແບ່ງອອກເປັນອາຍແກັສປະລິມານຫຼາຍ ແລະອາຍແກັສພິເສດ.

ການນຳໃຊ້ອາຍແກັສໃນອຸດສາຫະກຳຈຸລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ເຄິ່ງຕົວນຳ ການນຳໃຊ້ອາຍແກັສມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳສະເໝີ, ໂດຍສະເພາະຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ. ຕັ້ງແຕ່ ULSI, TFT-LCD ຈົນເຖິງອຸດສາຫະກຳຈຸລະພາກໄຟຟ້າກົນຈັກ (MEMS) ໃນປະຈຸບັນ, ຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳຖືກນຳໃຊ້ເປັນຂະບວນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນ, ລວມທັງການແກະສະຫຼັກແຫ້ງ, ການຜຸພັງ, ການຝັງໄອອອນ, ການວາງຟິມບາງ, ແລະອື່ນໆ.

ຕົວຢ່າງ, ຫຼາຍຄົນຮູ້ວ່າຊິບເຮັດດ້ວຍດິນຊາຍ, ແຕ່ເມື່ອພິຈາລະນາຂະບວນການຜະລິດຊິບທັງໝົດ, ຕ້ອງການວັດສະດຸເພີ່ມເຕີມ, ເຊັ່ນ: ໂຟໂຕຣີຊິດ, ນ້ຳຢາຂັດເງົາ, ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ອາຍແກັສພິເສດ, ແລະອື່ນໆ ແມ່ນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ການຫຸ້ມຫໍ່ດ້ານຫຼັງຍັງຕ້ອງການວັດສະດຸພື້ນຖານ, ຕົວເຊື່ອມຕໍ່, ກອບນຳ, ວັດສະດຸເຊື່ອມຕໍ່, ແລະອື່ນໆ ຂອງວັດສະດຸຕ່າງໆ. ອາຍແກັສພິເສດເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນວັດສະດຸທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດອັນດັບສອງໃນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼັງຈາກແຜ່ນຊິລິໂຄນ, ຕິດຕາມດ້ວຍໜ້າກາກ ແລະ ໂຟໂຕຣີຊິດ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສມີອິດທິພົນຢ່າງເດັດຂາດຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະ ຄວາມປອດໄພຂອງການສະໜອງອາຍແກັສແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບສຸຂະພາບຂອງພະນັກງານ ແລະ ຄວາມປອດໄພຂອງການດຳເນີນງານຂອງໂຮງງານ. ເປັນຫຍັງຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສຈຶ່ງມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ສາຍການຜະລິດ ແລະ ພະນັກງານ? ນີ້ບໍ່ແມ່ນການເວົ້າເກີນຈິງ, ແຕ່ຖືກກຳນົດໂດຍລັກສະນະອັນຕະລາຍຂອງອາຍແກັສເອງ.

ການຈັດປະເພດຂອງອາຍແກັສທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ

ອາຍແກັສທຳມະດາ

ອາຍແກັສທຳມະດາຍັງຖືກເອີ້ນວ່າອາຍແກັສປະລິມານຫຼາຍ: ມັນໝາຍເຖິງອາຍແກັສອຸດສາຫະກຳທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດຕ່ຳກວ່າ 5N ແລະ ປະລິມານການຜະລິດ ແລະ ການຂາຍຫຼາຍ. ມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນອາຍແກັສແຍກອາກາດ ແລະ ອາຍແກັສສັງເຄາະຕາມວິທີການກະກຽມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ໄຮໂດຣເຈນ (H2), ໄນໂຕຣເຈນ (N2), ອົກຊີເຈນ (O2), ອາກອນ (A2), ແລະອື່ນໆ.

ອາຍແກັສພິເສດ

ອາຍແກັສພິເສດໝາຍເຖິງອາຍແກັສອຸດສາຫະກຳທີ່ໃຊ້ໃນຂົງເຂດສະເພາະ ແລະ ມີຄວາມຕ້ອງການພິເສດສຳລັບຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມຫຼາກຫຼາຍ ແລະ ຄຸນສົມບັດ. ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນSiH4, PH3, B2H6, A8H3,ຮໍໂມນໄຮໂດຣເຈນ, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... ແລະອື່ນໆ.

ປະເພດຂອງອາຍແກັສ Spicial

ປະເພດຂອງອາຍແກັສພິເສດ: ກັດກ່ອນ, ເປັນພິດ, ໄວໄຟ, ທົນທານຕໍ່ການເຜົາໄໝ້, ບໍ່ເຄື່ອນໄຫວ, ແລະອື່ນໆ.
ອາຍແກັສເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ນິຍົມໃຊ້ກັນທົ່ວໄປຖືກຈັດປະເພດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
(i) ສານກັດກ່ອນ/ສານພິດ:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3...
(ii) ໄວໄຟ: H2CH4,SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) ຕິດໄຟໄດ້: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) ຄວາມບໍ່เฉื่อย: N2CF4, C2F6 ,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr​ເຂົາ…

ໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບເຄິ່ງຕົວນຳ, ມີອາຍແກັສພິເສດປະມານ 50 ຊະນິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ (ເອີ້ນວ່າອາຍແກັສພິເສດ) ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ການວາງຊັ້ນ, ການແກະສະຫຼັກ, ການສີດ, ການພິມດ້ວຍແສງ ແລະ ຂະບວນການອື່ນໆ, ແລະ ຂັ້ນຕອນຂະບວນການທັງໝົດເກີນຮ້ອຍຂັ້ນຕອນ. ຕົວຢ່າງ, PH3 ແລະ AsH3 ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນແຫຼ່ງຟອສຟໍຣັດ ແລະ ສານຫນູໃນຂະບວນການຝັງໄອອອນ, ອາຍແກັສທີ່ອີງໃສ່ F CF4, CHF3, SF6 ແລະ ອາຍແກັສຮາໂລເຈນ CI2, BCI3, HBr ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຂະບວນການແກະສະຫຼັກ, SiH4, NH3, N2O ໃນຂະບວນການຟິມວາງຊັ້ນ, F2/Kr/Ne, Kr/Ne ໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງ.

ຈາກລັກສະນະຂ້າງເທິງນີ້, ພວກເຮົາສາມາດເຂົ້າໃຈໄດ້ວ່າອາຍແກັສເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ຮ່າງກາຍຂອງມະນຸດ. ໂດຍສະເພາະ, ອາຍແກັສບາງຊະນິດ, ເຊັ່ນ SiH4, ສາມາດຕິດໄຟໄດ້ດ້ວຍຕົນເອງ. ຕາບໃດທີ່ມັນຮົ່ວໄຫຼ, ມັນຈະມີປະຕິກິລິຍາຮຸນແຮງກັບອົກຊີເຈນໃນອາກາດ ແລະ ເລີ່ມເຜົາໄໝ້; ແລະ AsH3 ມີພິດສູງ. ການຮົ່ວໄຫຼເລັກນ້ອຍອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດອັນຕະລາຍຕໍ່ຊີວິດຂອງຄົນ, ສະນັ້ນຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມປອດໄພຂອງການອອກແບບລະບົບຄວບຄຸມສຳລັບການໃຊ້ອາຍແກັສພິເສດແມ່ນສູງໂດຍສະເພາະ.

ເຊມິຄອນດັກເຕີຕ້ອງການໃຫ້ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີ “ສາມອົງສາ”

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສ

ປະລິມານຂອງບັນຍາກາດສິ່ງເຈືອປົນໃນອາຍແກັສມັກຈະສະແດງອອກເປັນອັດຕາສ່ວນຂອງຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສ, ເຊັ່ນ 99.9999%. ໂດຍທົ່ວໄປ, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດສຳລັບອາຍແກັສພິເສດເອເລັກໂຕຣນິກສູງເຖິງ 5N-6N, ແລະຍັງສະແດງອອກໂດຍອັດຕາສ່ວນປະລິມານຂອງປະລິມານບັນຍາກາດສິ່ງເຈືອປົນ ppm (ສ່ວນຕໍ່ລ້ານ), ppb (ສ່ວນຕໍ່ພັນລ້ານ), ແລະ ppt (ສ່ວນຕໍ່ພັນຕື້). ຂະແໜງເຄິ່ງຕົວນຳເອເລັກໂຕຣນິກມີຄວາມຕ້ອງການສູງສຸດສຳລັບຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານຄຸນນະພາບຂອງອາຍແກັສພິເສດ, ແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສພິເສດເອເລັກໂຕຣນິກໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນສູງກວ່າ 6N.

ຄວາມແຫ້ງແລ້ງ

ປະລິມານນ້ຳໜ້ອຍໃນອາຍແກັສ ຫຼື ຄວາມຊຸ່ມ ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະສະແດງອອກເປັນຈຸດນ້ຳຄ້າງ ເຊັ່ນ: ຈຸດນ້ຳຄ້າງໃນບັນຍາກາດ -70℃.

ຄວາມສະອາດ

ຈຳນວນອະນຸພາກມົນລະພິດໃນອາຍແກັສ, ອະນຸພາກທີ່ມີຂະໜາດອະນຸພາກ µm, ແມ່ນສະແດງອອກເປັນຈຳນວນອະນຸພາກ/M3. ສຳລັບອາກາດທີ່ຖືກບີບອັດ, ມັນມັກຈະສະແດງອອກເປັນ mg/m3 ຂອງສິ່ງເສດເຫຼືອແຂງທີ່ບໍ່ສາມາດຫຼີກລ່ຽງໄດ້, ເຊິ່ງລວມທັງປະລິມານນ້ຳມັນ.