ອາຍແກັສເລເຊີ

ອາຍແກັສເລເຊີສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການຫລອມດ້ວຍເລເຊີ ແລະ ອາຍແກັສການພິມດ້ວຍລີໂທກຣາຟີໃນອຸດສາຫະກຳເອເລັກໂຕຣນິກ. ໂດຍໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກນະວັດຕະກຳຂອງໜ້າຈໍໂທລະສັບມືຖື ແລະ ການຂະຫຍາຍພື້ນທີ່ການນຳໃຊ້, ຂະໜາດຂອງຕະຫຼາດໂພລີຊິລິຄອນອຸນຫະພູມຕ່ຳຈະໄດ້ຮັບການຂະຫຍາຍອອກໄປຕື່ມອີກ, ແລະ ຂະບວນການຫລອມດ້ວຍເລເຊີໄດ້ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງ TFTs ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໃນບັນດາອາຍແກັສນີອອນ, ຟລູອໍຣີນ, ແລະ ອາກອນທີ່ໃຊ້ໃນເລເຊີ ArF excimer ສຳລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ນີອອນກວມເອົາຫຼາຍກວ່າ 96% ຂອງສ່ວນປະສົມອາຍແກັສເລເຊີ. ດ້ວຍການປັບປຸງເຕັກໂນໂລຊີເຄິ່ງຕົວນຳ, ການນຳໃຊ້ເລເຊີ excimer ໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະ ການນຳສະເໜີເຕັກໂນໂລຊີການສຳຜັດສອງເທົ່າໄດ້ນຳໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາຂອງຄວາມຕ້ອງການອາຍແກັສນີອອນທີ່ໃຊ້ໂດຍເລເຊີ ArF excimer. ໂດຍໄດ້ຮັບຜົນປະໂຫຍດຈາກການສົ່ງເສີມການທ້ອງຖິ່ນຂອງອາຍແກັສພິເສດເອເລັກໂຕຣນິກ, ຜູ້ຜະລິດພາຍໃນປະເທດຈະມີພື້ນທີ່ການເຕີບໂຕຂອງຕະຫຼາດທີ່ດີຂຶ້ນໃນອະນາຄົດ.

ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນເປັນອຸປະກອນຫຼັກຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ການພິມດ້ວຍຫີນກຳນົດຂະໜາດຂອງທຣານຊິດເຕີ. ການພັດທະນາທີ່ປະສານງານຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກຳການພິມດ້ວຍຫີນແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນຕໍ່ຄວາມກ້າວໜ້າຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ. ວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກົງກັນເຊັ່ນ: ໂຟໂຕຣີຊິດ, ອາຍແກັສພິມດ້ວຍຫີນ, ໂຟໂຕມາສ, ແລະ ອຸປະກອນເຄືອບ ແລະ ພັດທະນາມີເນື້ອໃນເຕັກໂນໂລຢີສູງ. ອາຍແກັສພິມດ້ວຍຫີນແມ່ນອາຍແກັສທີ່ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນສ້າງເລເຊີອັລຕຣາໄວໂອເລັດເລິກ. ອາຍແກັສພິມດ້ວຍຫີນທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດຜະລິດແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ມີຄວາມຍາວຄື້ນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະ ຄວາມຍາວຄື້ນຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມລະອຽດຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ, ເຊິ່ງເປັນໜຶ່ງໃນແກນຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ. ໃນປີ 2020, ຍອດຂາຍເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນທົ່ວໂລກທັງໝົດຈະເປັນ 413 ໜ່ວຍ, ໃນນັ້ນຍອດຂາຍ ASML 258 ໜ່ວຍຄິດເປັນ 62%, ຍອດຂາຍ Canon 122 ໜ່ວຍຄິດເປັນ 30%, ແລະ ຍອດຂາຍ Nikon 33 ໜ່ວຍຄິດເປັນ 8%.