Epitaxial (ການເຕີບໂຕ)ປະສົມ Gas

ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ເພື່ອປູກວັດສະດຸໜຶ່ງຫຼືຫຼາຍຊັ້ນໂດຍການວາງອາຍເຄມີໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນຖານທີ່ເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງເອີ້ນວ່າອາຍແກັສ epitaxial.

ອາຍແກັສ epitaxial ຊິລິໂຄນທີ່ນິຍົມໃຊ້ປະກອບມີ dichlorosilane, silicon tetrachloride ແລະໄຊເລນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການວາງຊິລິໂຄນ epitaxial, ການວາງຟິມຊິລິໂຄນອົກໄຊ, ການວາງຟິມຊິລິໂຄນໄນໄຕຣ, ການວາງຟິມຊິລິໂຄນທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງສໍາລັບເຊວແສງອາທິດ ແລະ ໂຟໂຕຣີເຊບເຕີອື່ນໆ, ແລະອື່ນໆ. Epitaxy ແມ່ນຂະບວນການທີ່ວັດສະດຸຜລຶກດ່ຽວຖືກວາງໄວ້ ແລະ ເຕີບໂຕຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງ.

ອາຍແກັສປະສົມການຕົກຕະກອນໄອເຄມີ (CVD)

CVD ແມ່ນວິທີການຝາກທາດ ແລະ ສານປະກອບບາງຊະນິດໂດຍປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນໄລຍະແກັສໂດຍໃຊ້ສານປະກອບທີ່ລະເຫີຍງ່າຍ, ເຊັ່ນ: ວິທີການສ້າງຟິມໂດຍໃຊ້ປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນໄລຍະແກັສ. ອາຍແກັສການຝາກອາຍເຄມີ (CVD) ທີ່ໃຊ້ກໍ່ແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມປະເພດຂອງຟິມທີ່ສ້າງຂຶ້ນ.

ການໃຊ້ສານກະຕຸ້ນອາຍແກັສປະສົມ

ໃນການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ວົງຈອນລວມ, ສິ່ງເຈືອປົນບາງຊະນິດຖືກໂດບເຂົ້າໄປໃນວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳເພື່ອໃຫ້ວັດສະດຸມີປະເພດການນຳໄຟຟ້າທີ່ຕ້ອງການ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານທີ່ແນ່ນອນເພື່ອຜະລິດຕົວຕ້ານທານ, ຈຸດຕໍ່ PN, ຊັ້ນຝັງ, ແລະອື່ນໆ. ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການໂດບເອີ້ນວ່າອາຍແກັສໂດບ.

ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີ ອາຊີນ, ຟອສຟໍຣັດໄຕຟລູອໍໄຣດ໌, ຟອສຟໍຣັດເພນຕາຟລູອໍໄຣດ໌, ອາເຊນິກໄຕຟລູອໍໄຣດ໌, ອາເຊນິກເພນຕາຟລູອໍໄຣດ໌,ໂບຣອນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌, ດີໂບຣານ, ແລະອື່ນໆ.

ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ, ແຫຼ່ງສານເສີມຈະຖືກປະສົມກັບອາຍແກັສພາຫະນະ (ເຊັ່ນ: ອາກອນ ແລະ ໄນໂຕຣເຈນ) ໃນຕູ້ແຫຼ່ງ. ຫຼັງຈາກປະສົມແລ້ວ, ກະແສອາຍແກັສຈະຖືກສີດເຂົ້າໄປໃນເຕົາແຜ່ກະຈາຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ອ້ອມຮອບແຜ່ນເວເຟີ, ເຮັດໃຫ້ເກີດສານເສີມຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນຈະປະຕິກິລິຍາກັບຊິລິກອນເພື່ອສ້າງໂລຫະທີ່ມີສານເສີມທີ່ເຄື່ອນຍ້າຍເຂົ້າໄປໃນຊິລິກອນ.

ການແກະສະຫຼັກປະສົມອາຍແກັສ

ການແກະສະຫຼັກແມ່ນການແກະສະຫຼັກພື້ນຜິວປະມວນຜົນ (ເຊັ່ນ: ຟິມໂລຫະ, ຟິມຊິລິກອນອອກໄຊ, ແລະອື່ນໆ) ລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນໂດຍບໍ່ມີການປິດບັງແສງ, ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາພື້ນທີ່ດ້ວຍການປິດບັງແສງ, ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮູບແບບການຖ່າຍພາບທີ່ຕ້ອງການຢູ່ເທິງໜ້າພື້ນ.

ວິທີການແກະສະຫຼັກປະກອບມີການແກະສະຫຼັກດ້ວຍສານເຄມີປຽກ ແລະ ການແກະສະຫຼັກດ້ວຍສານເຄມີແຫ້ງ. ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ໃນການແກະສະຫຼັກດ້ວຍສານເຄມີແຫ້ງເອີ້ນວ່າອາຍແກັສແກະສະຫຼັກ.

ອາຍແກັສກັດມັກຈະເປັນອາຍແກັສຟລູອໍໄຣດ໌ (ຮາໄລດ໌) ເຊັ່ນຄາບອນເຕຕຣາຟລູອໍໄຣດ໌, ໄນໂຕຣເຈນໄຕຣຟລູອໍໄຣດ໌, ໄຕຣຟລູອໍໂຣມີເທນ, ເຮັກຊາຟລູອໍໂຣອີເທນ, ເປີຟລູອໍໂຣໂພຣເພນ, ແລະອື່ນໆ.