ໄຊລານເປັນສານປະກອບຂອງຊິລິກອນ ແລະ ໄຮໂດຣເຈນ, ແລະ ເປັນຄຳສັບທົ່ວໄປສຳລັບຊຸດຂອງສານປະກອບ. ໄຊເລນ ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍ ໂມໂນໄຊເລນ (SiH4), ໄດຊີເລນ (Si2H6) ແລະ ສານປະກອບໄຮໂດຣເຈນຊິລິກອນລະດັບສູງບາງຊະນິດ, ໂດຍມີສູດທົ່ວໄປ SinH2n+2. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ໃນການຜະລິດຕົວຈິງ, ໂດຍທົ່ວໄປພວກເຮົາອ້າງອີງເຖິງ ໂມໂນໄຊເລນ (ສູດເຄມີ SiH4) ວ່າ "ໄຊເລນ".

ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກອາຍແກັສໄຊລານສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໄດ້ມາຈາກການກັ່ນ ແລະ ການກັ່ນຕອງຜົງຊິລິກອນ, ໄຮໂດຣເຈນ, ຊິລິກອນເຕຕຣາຄລໍໄຣດ໌, ຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາ, ແລະອື່ນໆ. ໄຊເລນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ 3N ຫາ 4N ເອີ້ນວ່າ ໄຊເລນລະດັບອຸດສາຫະກຳ, ແລະ ໄຊເລນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດຫຼາຍກວ່າ 6N ເອີ້ນວ່າອາຍແກັສໄຊເລນລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ.

ໃນຖານະເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສສຳລັບການຂົນສົ່ງສ່ວນປະກອບຊິລິໂຄນ,ອາຍແກັສໄຊລານໄດ້ກາຍເປັນອາຍແກັສພິເສດທີ່ສຳຄັນທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ໂດຍແຫຼ່ງຊິລິກອນອື່ນໆຈຳນວນຫຼາຍເນື່ອງຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມຢ່າງລະອຽດ. ໂມໂນໄຊເລນສ້າງຊິລິກອນຜລຶກໂດຍຜ່ານປະຕິກິລິຍາໄພໂຣໄລຊິສ, ເຊິ່ງປະຈຸບັນເປັນໜຶ່ງໃນວິທີການຜະລິດຊິລິກອນຜລຶກໂມໂນຄຣິສຕາລິນ ແລະ ຊິລິກອນໂພລີຄຣິສຕາລິນຂະໜາດໃຫຍ່ໃນໂລກ.

ຄຸນລັກສະນະຂອງຊິລານ

ໄຊເລນ (SiH4)ເປັນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີທີ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບອາກາດ ແລະ ເຮັດໃຫ້ຫາຍໃຈບໍ່ອອກ. ຄຳສັບຄ້າຍຄືກັນຂອງມັນແມ່ນຊິລິກອນໄຮດຣາຍ. ສູດເຄມີຂອງໄຊເລນແມ່ນ SiH4, ແລະ ປະລິມານຂອງມັນສູງເຖິງ 99.99%. ທີ່ອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມດັນຫ້ອງ, ໄຊເລນເປັນອາຍແກັສພິດທີ່ມີກິ່ນເໝັນ. ຈຸດລະລາຍຂອງໄຊເລນແມ່ນ -185℃ ແລະ ຈຸດເດືອດແມ່ນ -112℃. ທີ່ອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ໄຊເລນມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ແຕ່ເມື່ອໃຫ້ຄວາມຮ້ອນເຖິງ 400℃, ມັນຈະຍ່ອຍສະຫຼາຍເປັນອາຍແກັສຊິລິກອນ ແລະ ໄຮໂດຣເຈນຢ່າງສົມບູນ. ໄຊເລນແມ່ນໄວໄຟ ແລະ ລະເບີດໄດ້, ແລະ ມັນຈະເຜົາໄໝ້ຢ່າງລະເບີດໃນອາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສຮາໂລເຈນ.

ພາກສະໜາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

ໄຊເລນມີການນຳໃຊ້ຫຼາກຫຼາຍ. ນອກເໜືອໄປຈາກການເປັນວິທີທີ່ມີປະສິດທິພາບທີ່ສຸດໃນການຕິດໂມເລກຸນຊິລິໂຄນກັບໜ້າດິນຂອງເຊວໃນລະຫວ່າງການຜະລິດເຊວແສງອາທິດແລ້ວ, ມັນຍັງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນໂຮງງານຜະລິດເຊັ່ນ: ເຄິ່ງຕົວນຳ, ຈໍສະແດງຜົນແບບຮາບພຽງ, ແລະ ແກ້ວເຄືອບ.

ໄຊລານເປັນແຫຼ່ງຊິລິກອນສຳລັບຂະບວນການວາງໄອນ້ຳທາງເຄມີ ເຊັ່ນ: ຊິລິກອນຜລຶກດ່ຽວ, ແຜ່ນຊິລິກອນ epitaxial ໂພລີຄຣິສຕາລິນ, ຊິລິກອນໄດອອກໄຊ, ຊິລິກອນໄນໄຕຣດ, ແລະ ແກ້ວຟອສໂຟຊິລິເຄດ ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ແລະ ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດ ແລະ ການພັດທະນາແຜງແສງອາທິດ, ກອງຖ່າຍເອກສານຊິລິກອນ, ເຊັນເຊີໂຟໂຕອີເລັກທຣິກ, ເສັ້ນໄຍແສງ, ແລະ ແກ້ວພິເສດ.

ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີສູງຂອງໄຊລານຍັງຄົງເກີດຂຶ້ນ, ລວມທັງການຜະລິດເຊລາມິກທີ່ກ້າວໜ້າ, ວັດສະດຸປະສົມ, ວັດສະດຸທີ່ມີປະໂຫຍດ, ວັດສະດຸຊີວະພາບ, ວັດສະດຸພະລັງງານສູງ, ແລະອື່ນໆ, ກາຍເປັນພື້ນຖານຂອງເຕັກໂນໂລຊີໃໝ່, ວັດສະດຸໃໝ່ ແລະ ອຸປະກອນໃໝ່ຫຼາຍຢ່າງ.