ໄຮໂດຼລິກ chlorideແມ່ນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີມີກິ່ນເຫມັນ. ການແກ້ໄຂທີ່ມີນ້ໍາຫນັກຂອງມັນແມ່ນເອີ້ນວ່າກົດ hydrochloric, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າກົດ hydrochloric. ໄຮໂດຼລິກ chloride ແມ່ນລະລາຍຫຼາຍໃນນ້ໍາ. ຢູ່ທີ່ 0 ° C, ປະລິມານນ້ໍາ 1 ເມັດສາມາດລະລາຍປະມານ 500 ປະລິມານຂອງ hydrogen chloride.

ມັນມີຄຸນສົມບັດແລະຄຸນລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຼລິກ chlorideis very high, usually at ppm or lower level, to ensure that no impurities are introduced into the semiconductor manufacturing process.

2. Inertness

ມັນແມ່ນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບສານອື່ນໆອີກຫຼາຍຢ່າງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນຫຼາຍໃນການປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ມີການປົນເປື້ອນຂອງວັດສະດຸແລະອຸປະກອນທີ່ມີຊີວິດຊີວາ.

3. ສະຖຽນລະພາບສູງ

ເກຣດໄຮໂດຼລິກ chlorideໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີເຄມີສາດທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນການປຸງແຕ່ງ semicondorituctor ທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖື.

ໃນການປະມວນຜົນ semiconductor, ການນໍາໃຊ້ຫຼັກຂອງການນໍາໃຊ້ໄຟຟ້າຂອງໂຮງຮຽນໄຟຟ້າອາຍຸສູງສຸດປະກອບມີ:

1. ການທໍາຄວາມສະອາດດ້ານຫນ້າແລະການກະກຽມ

ເປັນສະອາດດ້ານທີ່ມີປະສິດທິຜົນ, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຼລິກ chlorideຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກໍາຈັດ oxides ແລະ impurities ຈາກດ້ານ sublate ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນຫຼືຮູບເງົາ.

ການຊ່ວຍເຫຼືອການເຕີບໂຕຂອງ 2.EPITAXIAL

ໃຊ້ເປັນຕົວແທນບໍາບັດພື້ນຜິວໃນຂະບວນການ Epitaxial, ມັນຊ່ວຍໃນການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນຂອງຊັ້ນ, ແລະຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງຄວາມບົກຜ່ອງຂອງເສັ້ນລວດ.

3. pretrerate sterreratment

ກ່ອນການກະກຽມອຸປະກອນ semiconductor, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຼລິກ chlorideສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຮັກສາພື້ນຜິວຍ່ອຍເພື່ອປະກອບເປັນພື້ນຖານທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອປັບປຸງຄວາມຫນຽວລະຫວ່າງຊັ້ນຂອງຊັ້ນແລະຊັ້ນໃຕ້ດິນ.

4. ຝາກຕົວແທນຊ່ວຍເຫຼືອ

ໃນຂະບວນການເງິນຝາກ Vapor ເຄມີ (CVD) ຫຼືເງິນຝາກ Vapor ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ (PVD), Meddrogen Gritrogen Chorlost ສາມາດໃຊ້ໄດ້ໃນໄລຍະທີ່ສາມາດເຂົ້າຮ່ວມໃນປະຕິກິລິຍາຂອງການຝາກຂອງ semiconductor.

5. ຕົວແທນການໂອນຍ້າຍກ gas າຊ

ໃນຖານະເປັນຕົວແທນການໂອນອາຍແກັສ, paseous ອື່ນໆຖືກແນະນໍາເຂົ້າໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາເພື່ອຊ່ວຍປັບອັດຕາການຝາກເງິນແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງວັດສະດຸ.

ຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຼລິກ chlorideຕົວແທນການປຸງແຕ່ງທີ່ສໍາຄັນໃນເຕັກໂນໂລຍີ semiconductor, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ການສະແດງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນສຸດທ້າຍ.

ນອກເຫນືອໄປຈາກການນໍາໃຊ້ຂອງມັນໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ລະດັບໄຟຟ້າສາມາດຊອກຫາອຸປະກອນການນໍາໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ການຂະຫຍາຍຕົວດ້ານວັດຖຸດິບ, ໄລຍະເວລາຂອງໂລກ lithography, ການຄົ້ນຄວ້າເອກະສານ, ການຄົ້ນຄວ້າດ້ານວັດຖຸ.

ໂດຍທົ່ວໄປ, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຼລິກ chlorideແມ່ນອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມສາມາດ, ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີຫລາຍສະຫມັກທີ່ຢູ່ນອກການຜະລິດ semiconductor.