ໄຮໂດຣເຈນ chlorideແມ່ນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີທີ່ມີກິ່ນເໝັນ. ການແກ້ໄຂທີ່ມີນ້ໍາຂອງມັນຖືກເອີ້ນວ່າອາຊິດ hydrochloric, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າອາຊິດ hydrochloric. Hydrogen chloride ແມ່ນລະລາຍຫຼາຍໃນນ້ໍາ. ຢູ່ທີ່ 0 °C, 1 ປະລິມານຂອງນ້ໍາສາມາດລະລາຍປະມານ 500 ປະລິມານຂອງ hydrogen chloride.

ມັນ​ມີ​ຄຸນ​ສົມ​ບັດ​ແລະ​ລັກ​ສະ​ນະ​ດັ່ງ​ຕໍ່​ໄປ​ນີ້​:

1. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນຮຽນເອເລັກໂຕຣນິກhydrogen chlorideແມ່ນສູງຫຼາຍ, ປົກກະຕິແລ້ວຢູ່ໃນລະດັບ ppm ຫຼືຕ່ໍາ, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີ impurities ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

2. Inertness

ມັນເປັນອາຍແກັສ inert ທາງເຄມີທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບສານອື່ນໆຈໍານວນຫຼາຍ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນຫຼາຍເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງວັດສະດຸ semiconductor ແລະອຸປະກອນ.

3. ຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ

ຊັ້ນຮຽນເອເລັກໂທຣນິກhydrogen chlorideໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີເຄມີທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.

ໃນ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ semiconductor​, ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຕົ້ນ​ຕໍ​ຂອງ hydrogen chloride ຊັ້ນ​ເອ​ເລັກ​ໂຕຣ​ນິກ​ປະ​ກອບ​ມີ​:

1. ການທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວແລະການກະກຽມ

ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເກຣດເອເລັກໂຕຣນິກhydrogen chlorideຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເອົາອອກໄຊແລະ impurities ຈາກຫນ້າດິນ substrate ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນ epitaxial ຫຼືຮູບເງົາ.

2.Epitaxial ການຊ່ວຍເຫຼືອການຂະຫຍາຍຕົວ

ໃຊ້ເປັນຕົວແທນການປິ່ນປົວດ້ານໃນຂະບວນການ epitaxial, ມັນຊ່ວຍປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial, ປັບປຸງການຈັບຄູ່ lattice, ແລະຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງຕັ້ງຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງ lattice.

3. ການທາສີຮອງພື້ນ

ກ່ອນທີ່ຈະກະກຽມອຸປະກອນ semiconductor, ຊັ້ນຮຽນເອເລັກໂຕຣນິກhydrogen chlorideສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປິ່ນປົວພື້ນຜິວຂອງ substrate ເພື່ອສ້າງພື້ນຖານທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອປັບປຸງການຍຶດຫມັ້ນລະຫວ່າງຊັ້ນ epitaxial ແລະ substrate.

4. Deposition auxiliary agent

ໃນຂະບວນການຂອງການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ຫຼືການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ (PVD), ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກ hydrogen chloride ສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນຕົວກາງການຖ່າຍທອດໄລຍະອາຍແກັສເພື່ອເຂົ້າຮ່ວມໃນປະຕິກິລິຍາ deposition ຂອງວັດສະດຸ semiconductor.

5. ຕົວແທນການຍົກຍ້າຍແກັດ

ໃນຖານະຕົວແທນການຖ່າຍທອດໄລຍະອາຍແກັສ, ຄາຣະວາຂອງທາດອາຍແກັສອື່ນໆໄດ້ຖືກນໍາເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາເພື່ອຊ່ວຍປັບອັດຕາເງິນຝາກແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງວັດສະດຸ.

ລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ເກຣດເອເລັກໂຕຣນິກhydrogen chlorideຕົວແທນການປຸງແຕ່ງທີ່ສໍາຄັນໃນເທກໂນໂລຍີ semiconductor, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນສຸດທ້າຍ.

ນອກເຫນືອໄປຈາກການນໍາໃຊ້ຂອງມັນໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກ hydrogen chloride ສາມາດຊອກຫາຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງການນໍາໃຊ້ໃນຂົງເຂດອື່ນໆ, ລວມທັງ: ການກະກຽມວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຈຸລັງນໍ້າມັນເຊື້ອໄຟ, ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງວັດສະດຸ Semiconductor, Vapor Phase Lithography, ການວິເຄາະວັດສະດຸ, ການຄົ້ນຄວ້າທາງເຄມີ.

ໂດຍທົ່ວໄປ, ຊັ້ນຮຽນເອເລັກໂຕຣນິກhydrogen chlorideເປັນອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍທີ່ມີຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງການນໍາໃຊ້ນອກການຜະລິດ semiconductor.