ໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ເປັນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີສີ ແລະ ມີກິ່ນແຮງ. ສານລະລາຍໃນນໍ້າຂອງມັນເອີ້ນວ່າ ກົດໄຮໂດຣຄລໍຣິກ ຫຼື ທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມ ກົດໄຮໂດຣຄລໍຣິກ. ໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ ລະລາຍໃນນໍ້າໄດ້ດີຫຼາຍ. ທີ່ອຸນຫະພູມ 0°C, ນໍ້າ 1 ປະລິມານສາມາດລະລາຍໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ໄດ້ປະມານ 500 ປະລິມານ.

ມັນມີຄຸນສົມບັດ ແລະ ລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ແມ່ນສູງຫຼາຍ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຢູ່ໃນລະດັບ ppm ຫຼືຕ່ຳກວ່າ, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີສິ່ງເຈືອປົນໃດໆຖືກນຳເຂົ້າສູ່ຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.

2. ຄວາມเฉื่อยชา

ມັນເປັນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບສານອື່ນໆຈຳນວນຫຼາຍ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງວັດສະດຸ ແລະ ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ.

3. ຄວາມໝັ້ນຄົງສູງ

ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມີເຄມີທີ່ໝັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນການປະມວນຜົນແບບເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື.

ໃນການປຸງແຕ່ງເຄິ່ງຕົວນຳ, ການນຳໃຊ້ຫຼັກຂອງໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ເກຣດເອເລັກໂຕຣນິກປະກອບມີ:

1. ການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການກະກຽມພື້ນຜິວ

ໃນຖານະທີ່ເປັນເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເອົາອົກໄຊ ແລະ ສິ່ງເຈືອປົນອອກຈາກໜ້າດິນຂອງຊັ້ນວາງເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນ epitaxial ຫຼື ຟິມ.

2. ການຊ່ວຍເຫຼືອການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial

ໃຊ້ເປັນຕົວແທນການປິ່ນປົວພື້ນຜິວໃນຂະບວນການ epitaxial, ມັນຊ່ວຍປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial, ປັບປຸງການຈັບຄູ່ lattice, ແລະຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງຕັ້ງຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງ lattice.

3. ການປະຕິບັດໜ້າດິນກ່ອນ

ກ່ອນການກະກຽມອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປິ່ນປົວພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນເພື່ອສ້າງພື້ນຖານທີ່ໝັ້ນຄົງເພື່ອປັບປຸງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຊັ້ນ epitaxial ແລະຊັ້ນໃຕ້ດິນ.

4. ຕົວແທນຊ່ວຍໃນການວາງ

ໃນຂະບວນການຂອງການວາງໄອນ້ຳເຄມີ (CVD) ຫຼື ການວາງໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບ (PVD), ໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ເກຣດເອເລັກໂຕຣນິກສາມາດໃຊ້ເປັນຕົວກາງການໂອນໄລຍະອາຍແກັສເພື່ອເຂົ້າຮ່ວມໃນປະຕິກິລິຍາການວາງຂອງວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳ.

5. ຕົວແທນໂອນໄລຍະອາຍແກັສ

ໃນຖານະເປັນຕົວແທນການໂອນຍ້າຍໄລຍະອາຍແກັສ, ສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ເປັນອາຍແກັສອື່ນໆຈະຖືກນຳເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາເພື່ອຊ່ວຍປັບອັດຕາການຕົກຕະກອນ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງວັດສະດຸ.

ລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ເກຣດເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ຕົວແທນການປະມວນຜົນທີ່ສຳຄັນໃນເຕັກໂນໂລຊີເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບສຳຄັນຕໍ່ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນສຸດທ້າຍ.

ນອກເໜືອໄປຈາກການນຳໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງເຄິ່ງຕົວນຳ, ໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ເກຣດເອເລັກໂຕຣນິກຍັງສາມາດພົບເຫັນການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍໃນຂົງເຂດອື່ນໆ, ລວມທັງ: ການກະກຽມວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊວເຊື້ອໄຟ, ການເຕີບໂຕຂອງວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳ, ການພິມດ້ວຍໄອນ້ຳ, ການວິເຄາະວັດສະດຸ, ການຄົ້ນຄວ້າທາງເຄມີ.

ໂດຍທົ່ວໄປ, ຊັ້ນເອເລັກໂຕຣນິກໄຮໂດຣເຈນຄລໍໄຣດ໌ເປັນອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວຫຼາຍ ເຊິ່ງມີການນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງນອກເໜືອໄປຈາກການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.