ທາດອາຍຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ (UHP) ແມ່ນຊີວິດຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ໃນຖານະເປັນຄວາມຕ້ອງການແລະຄວາມວຸ້ນວາຍທີ່ບໍ່ເຄີຍມີມາກ່ອນສໍາລັບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງໂລກຍູ້ຂຶ້ນໃນອາຍແກັສຄວາມດັນທີ່ສຸດ, ການປະຕິບັດ semiconductor ໃຫມ່ແມ່ນເພີ່ມຂື້ນຂອງລະດັບການຄວບຄຸມມົນລະພິດທີ່ຈໍາເປັນ. ສໍາລັບຜູ້ຜະລິດ semiconductor, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສ UHP ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍກ່ວາເກົ່າ.

ທາດອາຍຕົວທີ່ບໍລິສຸດສູງສຸດ (UHP) ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນແທ້ໆໃນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ

ຫນຶ່ງໃນການນໍາໃຊ້ກ gas າຊ UHP ແມ່ນ inertization: ອາຍແກັສ UHP ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອປ້ອງກັນໃນສ່ວນປະກອບທີ່ເປັນອັນຕະລາຍຂອງຄວາມຊຸ່ມ, ອົກຊີເຈນແລະອື່ນໆໃນບັນຍາກາດ. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, Inertization ແມ່ນພຽງແຕ່ຫນຶ່ງໃນຫລາຍໆຫນ້າທີ່ທີ່ Gases ປະຕິບັດໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຈາກທາດອາຍພິດຕົ້ນຕໍໃນທາດອາຍພິດທີ່ໃຊ້ໃນການນໍາໃຊ້ໃນ etching ແລະ annealing, ທາດອາຍຜິດກົດດັນສູງແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງ semiconductor.

ບາງສ່ວນຂອງອາຍແກັສ "ແກນ" ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ປະກອບມີໄນໂຕຣເຈນ(ໃຊ້ເປັນຄວາມສະອາດທົ່ວໄປແລະອາຍແກັສ inert),ປະມາດ(ໃຊ້ເປັນອາຍແກັສຕົ້ນຕໍຂອງ plasma ໃນປະຕິກິລິຍາ etching ແລະການຝາກເງິນ),ເຮື່ອເອກ(ໃຊ້ເປັນອາຍແກັສ inert ທີ່ມີຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນພິເສດ) ແລະhydrogen(ມີບົດບາດຫຼາຍດ້ານໃນ Annaling, ການຝາກເງິນ, Epitaxy ແລະ Plasma ເຮັດຄວາມສະອາດ).

ໃນຂະນະທີ່ເຕັກໂນໂລຢີ semiconductor ໄດ້ພັດທະນາແລະປ່ຽນແປງ, ສະນັ້ນໃຫ້ທາດອາຍຜິດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ. ໃນມື້ນີ້, ພືດຜະລິດ semiconductor ໃຊ້ອາຍແກັສທີ່ກວ້າງຂວາງ, ຈາກອາຍແກັສທີ່ມີກຽດເຊັ່ນKryptonແລະນາງເນັດກັບຊະນິດພັນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເຊັ່ນ: nitrogen trifluoride (nf 3) ແລະ tungsten hexafluoride (WF 6).

ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂື້ນສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດ

ເນື່ອງຈາກການປະດິດສ້າງຂອງຈຸລິນຊີການຄ້າຄັ້ງທໍາອິດ, ໂລກໄດ້ເປັນພະຍານເຖິງການເພີ່ມຂື້ນຂອງອຸປະກອນທີ່ໃກ້ຄຽງທີ່ຫນ້າປະຫຼາດໃຈຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ໃນໄລຍະ 5 ປີທີ່ຜ່ານມາ, ຫນຶ່ງໃນວິທີທີ່ແນ່ນອນທີ່ສຸດເພື່ອບັນລຸໂດຍຜ່ານການປັບປຸງປະເພດນີ້ແມ່ນຜ່ານ "ຂະຫນາດຂອງສະຖາປັດຕະຍະກໍາທີ່ມີຢູ່ໃນການບີບຕົວຜູ້ປ່ຽນແປງຫຼາຍ. ນອກເຫນືອໄປຈາກສິ່ງນີ້, ການພັດທະນາສະຖາປັດຕະຍະກໍາຊິບໃຫມ່ແລະການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸຕັດທີ່ຜະລິດອອກມາໃນການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ.

ໃນມື້ນີ້, ຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນຂອງ secemonondo semiconductors ແມ່ນມີຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ຂະຫນາດບໍ່ແມ່ນວິທີທີ່ມີຄວາມເປັນໄປໄດ້ອີກຕໍ່ໄປເພື່ອປັບປຸງການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນ. ແທນທີ່ຈະ, ນັກຄົ້ນຄວ້າ semiconductor ກໍາລັງຊອກຫາວິທີແກ້ໄຂໃນຮູບແບບຂອງວັດສະດຸນະວະນິຍາຍແລະສະຖາປັດຕະຍະກໍາຊິບ 3D.

ທົດສະວັດຂອງການອອກແບບໃຫມ່ທີ່ບໍ່ມີຄວາມຫມາຍຫມາຍເຖິງອຸປະກອນ semiconductor ມື້ນີ້ແມ່ນມີປະສິດທິພາບຫຼາຍກ່ວາ microchips ຂອງເກົ່າ - ແຕ່ມັນຍັງມີຄວາມອ່ອນແອຫຼາຍ. ການມາເຖິງຂອງ 300mm Wafer Tower ໄດ້ເພີ່ມລະດັບການຄວບຄຸມທີ່ບໍ່ສະອາດສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor. ເຖິງແມ່ນວ່າການປົນເປື້ອນເລັກນ້ອຍໃນຂະບວນການຜະລິດ (ໂດຍສະເພາະແມ່ນທາດອາຍຜິດຫຼື inert) ສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນທີ່ຮ້າຍຫລວງຫລາຍ - ຕອນນີ້ມີຄວາມບໍລິສຸດກ gas າຊແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍກວ່າເກົ່າ.

ສໍາລັບໂຮງງານຜະລິດແບບປະຈໍາຕົວ semiconductor, ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນລາຍໄດ້ວັດຖຸທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດຫຼັງຈາກຊິລິໂຄນເອງ. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຄາດວ່າຈະເພີ່ມຂື້ນເປັນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບ semiconductors soars ກັບຄວາມສູງໃຫມ່. ເຫດການໃນເອີຣົບໄດ້ເຮັດໃຫ້ເກີດການລົບກວນເພີ່ມເຕີມຕໍ່ກັບຕະຫຼາດອາຍແກັສຄວາມກົດດັນຂອງຄວາມກົດດັນທີ່ເຄັ່ງຄັດ. ອູແກຣນແມ່ນຫນຶ່ງໃນບັນດາຜູ້ສົ່ງອອກທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດຂອງໂລກຂອງຄວາມບໍລິສຸດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງນາງເນັດອາການ; ການບຸກລຸກຂອງຣັດເຊຍຫມາຍເຖິງການສະຫນອງອາຍແກັສທີ່ຫາຍາກກໍາລັງຖືກຈໍາກັດ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ການຂາດແຄນແລະລາຄາທີ່ສູງກວ່າຂອງອາຍແກັສທີ່ສູງສົ່ງເຊັ່ນ:Kryptonແລະxenon.